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每臺售價2億美元 阿斯麥的EUV為什么別人不能制造光刻機?
(2025年9月3日更新)

3月24日,在荷蘭南部靠近比利時邊境的維爾德霍溫鎮(zhèn),位于世界上唯一一個可以組裝的城市EUV(極紫外)光刻機廠。

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世界上最大的芯片制造商都需要這種設(shè)備。在處理器芯片的生產(chǎn)過程中,EUV光刻機是最昂貴的。世界上只有阿斯麥(ASML)能制造出EUV光刻機。

弗萊徹學(xué)院助理教授克里斯·米勒(Chris Miller)阿斯麥正在制造EUV光刻機具有市場壟斷地位。EUV光刻機是最先進的光刻設(shè)備,我們今天使用的每一個先進的處理器芯片都需要它。他們生產(chǎn)的每臺機器都是歷史上最復(fù)雜的設(shè)備之一。

EUV是極紫外線的縮寫。阿斯麥生產(chǎn)的EUV光刻機可以在微芯片上產(chǎn)生大量波長極短的光,以打印小而復(fù)雜的圖案。熔融錫以極快的速度爆炸,產(chǎn)生極紫外線,然后通過蔡司最平坦的鏡子反射回來。一小部分EUV根據(jù)芯片設(shè)計蝕刻圖案,光粒照射到硅片表面。

由于全球芯片短缺,從游戲機到汽車等產(chǎn)品的訂單積壓,整個芯片制造業(yè)都在阿斯麥EUV對光刻技術(shù)的需求急劇上升。自2018年底以來,阿斯麥股價飆升超過340%,這使得阿斯麥的市值超過了英特爾等頂級客戶。

阿斯麥首席執(zhí)行官彼得·溫寧克(Peter Wennink)自38年前公司成立以來,該公司一直在降低芯片制造價格,并將在未來幾十年繼續(xù)這樣做。

溫寧克說:世界需要更多的芯片。所以我們需要制造更多的機器,順便說一句,只要我們能降低單個晶體管的制造成本,這些機器的平均銷售價格就會繼續(xù)上漲。

盡管如此,溫寧克表示,全球芯片短缺對阿斯麥來說也是一個挑戰(zhàn)。

我們從供應(yīng)商那里收到了很多信息,他們說,‘我們可能會推遲向您交付模塊,因為我們無法獲得芯片。’我們說,‘如果我們得不到芯片,我們就不能生產(chǎn)更多芯片的機器。

溫寧克說,這對阿斯麥來說態(tài)化問題。

機器2億美元

據(jù)溫寧克介紹,在過去的十年里,阿斯麥總共售出了約140套EUV目前,每個系統(tǒng)的成本高達2億美元。新一代高值孔徑(High NA)光刻機的價格將超過3億美元。

市場研究公司Semico Research芯片制造業(yè)分析師喬安妮·伊托(Joanne Itow)阿斯麥EUV光刻機太貴了,大多數(shù)公司都買不起。她說:這一定把許多制造商趕出了市場。由于成本高,芯片制造商格芯決定幾年前停止生產(chǎn)更先進的芯片。

如今,阿斯麥只向五家芯片制造商出售這臺機器。2021年,臺積電、三星和英特爾占阿斯麥業(yè)務(wù)的近84%。臺積電表示,它率先于2019年大規(guī)模交付EUV光刻機制造的芯片。自此,臺積電一直處于領(lǐng)先地位,芯片制造技術(shù)至少領(lǐng)先于三星和英特爾。

阿斯麥在市場上占據(jù)主導(dǎo)地位的時間相對較短。十年前,英特爾、三星和臺積電對阿斯麥進行了重大投資EUV光刻機起著決定性的作用。

1999年加入阿斯麥的溫寧克回憶說:我們當時沒有錢。。所以我們出去尋找合作伙伴,這實際上是我們建立公司的基礎(chǔ)。因此,我們被迫成為系統(tǒng)架構(gòu)師和系統(tǒng)集成商。

時間可以追溯到1984年,阿斯麥是飛利浦子公司。阿斯麥在荷蘭埃因霍溫飛利浦辦公樓旁邊的一所小房子里推出了第一臺蝕刻芯片的光刻機。這臺機器是在20世紀50年代在美國實驗室發(fā)明的。

阿斯麥的EUV克里斯多夫夫·富凱(Christophe Fouquet)第一臺光刻機看起來像一臺投影儀。簡單地說,機器上有一個光罩來保存你想要投影的圖案,然后用一個光學(xué)系統(tǒng)將圖像投射到晶圓上。

到1988年,阿斯麥在美國有5個辦事處,84名員工在荷蘭維爾德霍溫設(shè)立了新的辦事處,最終成為阿斯麥的總部。

準備研究整個行業(yè)EUV在光刻機的早期階段,沒有一家美國公司愿意冒險,只有阿斯麥做到了。阿斯麥是一家荷蘭公司,但它也是一家嚴重依賴美國零部件的荷蘭公司,尤其是它。

全球供應(yīng)鏈

EUV光刻機由來自世界各地近800家供應(yīng)商的多個模塊和數(shù)十萬個部件組成。每個模塊都在全球60家阿斯麥工廠生產(chǎn),然后運往維爾德霍溫組裝。每臺組裝好的機器經(jīng)過測試后拆卸并運往芯片制造商。運輸一套EUV光刻機需要20輛卡車或三架滿載波音747飛機。

在EUV在光刻機出現(xiàn)之前,芯片制造商可以從阿斯麥、尼康和佳能購買DUV光刻機(深紫外)。盡管日本尼康仍然是阿斯麥DUV光刻機市場的主要競爭對手,但想買EUV光刻機只能找阿斯麥。專家表示,其他公司可能需要幾十年的時間才能趕上,一方面是因為阿斯麥擁有獨家技術(shù),另一方面是因為它與數(shù)百家供應(yīng)商達成了復(fù)雜的獨家合作協(xié)議。

我們來找一些客戶Anaren代理溫寧克說:這是獨一無二的,一些供應(yīng)商對我們來說也是獨一無二的。。有人說,這種近乎共生的關(guān)系比婚姻更糟糕,因為你不能離婚。

阿斯麥收購部分供應(yīng)商的一種方式是避免供應(yīng)鏈風險。例如,該公司于2012年收購了圣地亞哥的光源制造商Cymer,光學(xué)模塊公司仍在2020年收購Berliner Glas。盡管今年1月Berliner Glas德國柏林的工廠發(fā)生了火災(zāi),但溫寧克表示,這起事故不會對今年的交付設(shè)備產(chǎn)生重大影響。

阿斯麥預(yù)計2022年公司銷售額將增長20%;到20世紀20年代末,公司年收入將增長11%。

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