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羅德和施瓦茨為在片器件的完整射頻性能表征提供了測試解決方案Memsic代理結(jié)合羅德和施瓦茨的實力R&S ZNA矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀和FormFactor先進(jìn)的工程探針臺系統(tǒng)。半導(dǎo)體制造商可以在產(chǎn)品開發(fā)、認(rèn)證和生產(chǎn)階段進(jìn)行可靠和可重復(fù)的測試。

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整個在片測量工作原因R&S ZNA矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀和FormFactor SUMMIT200探針臺系統(tǒng)一起完成。

5G 在優(yōu)化設(shè)備效率的同時，射頻前端設(shè)計師需要確保適當(dāng)?shù)脑O(shè)備輸出功率和射頻帶寬。驗證射頻設(shè)計是設(shè)計過程中的一個重要階段，盡快獲得相關(guān)設(shè)計反饋和評估DUT晶圓級的功能和性能。晶圓環(huán)境對 DUT測試特性所需的測量系統(tǒng)包括矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀(VNA)、探針臺、RF探針、電纜或適配器、專用校準(zhǔn)方法DUT或相關(guān)校準(zhǔn)片等。

羅德和施瓦茨推出，以滿足這些重要的測量要求R&S ZNA67 GHz上述擴頻模塊。分析儀可以表示同軸和波導(dǎo)級的所有射頻特性參數(shù)。FormFactor該系統(tǒng)包括熱控、高頻探針、探針定位器和校準(zhǔn)工具決，包括熱控、高頻探針、探針定位器和校準(zhǔn)工具。FormFactor WinCal XE校準(zhǔn)軟件支持整個測試系統(tǒng)的校準(zhǔn)，包括R&S ZNA的校準(zhǔn)。

完全校準(zhǔn)整個測試系統(tǒng)后，用戶可以使用它R&S ZNA所有測試功能。通用S參數(shù)測試可以表示濾波器和有源設(shè)備的特性；失真、增益和交調(diào)測試可以驗證功率放大器的特性。該組合測試系統(tǒng)還可以測量混頻器工作帶寬中的變頻相位。完全校準(zhǔn)的測試系統(tǒng)允許用戶直接從VNA由于校準(zhǔn)數(shù)據(jù)已直接應(yīng)用于所有測試結(jié)果，因此無需進(jìn)行后處理VNA之中。羅德和施瓦茨的擴頻模塊擴展到亞太赫茲頻率，如D波段，目前是6G關(guān)鍵頻段的研究。擴頻模塊集成到探針臺中，以確保最短的連接和理想的動態(tài)范圍，避免電纜連接到探針尖端造成的額外損失。