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12寸格科微臨港CIS快速推進(jìn)項(xiàng)目，ASML先進(jìn)ArF光刻機(jī)正式移動

（2025年9月6日更新）3月24日上午10:18，格科微在嚴(yán)格遵守防疫政策、采取疫情防控措施的情況下成功舉辦ASML先進(jìn)ArF光刻機(jī)移動儀式。格科半導(dǎo)體SVP李朝勇、各部門總監(jiān)、光刻團(tuán)隊(duì)、工廠團(tuán)隊(duì)出席儀式，見證了公司里程碑式的重要時刻。

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目前，格科微有限公司12英寸CIS集成電路特色色技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目進(jìn)展迅速。工廠和清潔車間的建設(shè)已基本完成，主要設(shè)備于2022年2月16日搬遷安裝。3月24日，格科半導(dǎo)體再次迎來了建廠的重要標(biāo)志性時刻，整條生產(chǎn)線中最關(guān)鍵的設(shè)備——ASML先進(jìn)ArF光刻機(jī)成功刻機(jī)。

ArF光刻機(jī)的成功引入是格科微的12英寸CIS建設(shè)集成電路特色工藝研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化工程的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)。格科微依托自有工廠即格科半導(dǎo)體的先進(jìn)工藝，將進(jìn)一步加快先進(jìn)工藝CIS在自有工廠實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)驗(yàn)證，大大縮短了高端產(chǎn)品從研發(fā)到大量供應(yīng)市場的周期。格科微表示，將堅(jiān)持從Fabless向Fablite通過自有工廠為特色技術(shù)的快速研發(fā)提供強(qiáng)有力的支持，不斷創(chuàng)新的電路設(shè)計(jì)、更短的研發(fā)周期、更高的業(yè)務(wù)路線Realtek代理為客戶提供全球一流的圖像傳感器產(chǎn)品，讓世界看到中國的創(chuàng)新。數(shù)據(jù)顯示，2020年3月，格科微與上海自貿(mào)區(qū)臨港新區(qū)管委會簽訂合作協(xié)議，計(jì)劃在新區(qū)投資建設(shè)12英寸CIS集成電路特色工藝研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。該項(xiàng)目總投資預(yù)計(jì)達(dá)到22億美元，已于2020年中啟動。2021年8月16日，格科微12英寸CIS集成電路特色工藝研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目正式封頂，項(xiàng)目一期計(jì)劃于2022年投產(chǎn)，年產(chǎn)能可達(dá)72萬件。